Sistema Marcado Láser Obleas

Se utiliza un láser para imprimir el número de lote (como ABC1234) directamente encima de la oblea para garantizar la trazabilidad de toda la cadena del proceso. Este número de lote se compone de muchos agujeros empotrados. Puede haber algunos derivados después del marcado, que se acumularán alrededor de los pozos. Las protuberancias excesivas o duras pueden rayar la superficie de la oblea en el proceso posterior y provocar su desguace. El procesamiento por láser ultravioleta es un método de procesamiento en frío que resuelve la acumulación, lo que lo convierte en un programa ideal para el marcado de obleas.

– Recogida automática de obleas del almacén

– Encontrar obleas automáticamente con el buscador de bordes

– Marcaje automático de posición con el sistema visual

– El sistema de inspección visual está disponible

– Disponible para marcar en la parte posterior de la oblea a través de la película de transmitancia

– Cumple la norma SMEMA

– SMIF y otros módulos automáticos de carga y descarga pueden seleccionarse como ampliación

– Los módulos láser UV y verde pueden seleccionarse en función de las necesidades.